特點(diǎn):
1、嵌入式 PC 和流線行設(shè)計(jì),更節(jié)省空間,更美觀 ,整機(jī)框架結(jié)構(gòu)采用新型航空鋁材,非常堅(jiān)固輕便,穩(wěn)定性更高
2、人性化設(shè)計(jì)的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)顯微鏡,能保證焦點(diǎn)在弧線路徑流暢的移動(dòng),保證更開闊、更清晰的視野
3、任意測量模塊的分辨率都是 100ppm,保證各測量模塊的測試精度,系統(tǒng)精度0.15%,Z軸分辨率0.1um
4、可選先進(jìn)的數(shù)字圖像采集系統(tǒng),可儲(chǔ)存不良品的圖片,便于錯(cuò)誤追溯與比較
5、豐富的數(shù)據(jù)報(bào)告輸出,多層次的用戶訪問,多語言設(shè)置切換
6、200KGF 的管芯剪切力和凸點(diǎn)拉力、可選的 Hi-Mag 數(shù)字圖像采集卡、高精度的多量程模塊。
規(guī)格參數(shù):
尺寸: | 560*432*585 mm (H*W*D) |
重量: | 55kg |
電源: | 90~264VAC,47~63Hz |
氣源: | 4.0~5.5bar |
真空: | 500mm Hg |
伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng): | X/Y 標(biāo)準(zhǔn),305mm×155mm |
X、Y 分辨率: | 1um |
Z 軸分辨率: | 0.1um |
系統(tǒng)精度: | 0.15% |
步進(jìn)精度: | 1~25um |
環(huán)形高度測量: | 是 |
力度曲線: | 是 |
測試模塊表
測試模塊: | 范圍 | 可選范圍 | ||
線拉力: | 100gf | 50gf | 20gf | 10gf |
1kgf | 500gf | 200gf | 100gf | |
10kgf | 5kgf | 2kgf | 1kgf | |
管芯剪切力: | 20kgf | 10kgf | 5kgf | 2kgf |
200kgf | 100kgf | 50kgf | 20kgf | |
線綁定剪切力: | 250gf | 100gf | 50gf | 25gf |
1kgf | 500gf | 200gf | 100gf | |
5kgf | 2kgf | 1kgf | 500gf | |
粘片強(qiáng)度3點(diǎn)測試: | 10kgf | 5kgf | 2kgf | 1kgf |
金球推力: 夾拉力: | 100gf | 5gf | 20gf | 10gf |
1kgf | 500gf | 200gf | 100gf | |
10kgf | 5kgf | 2kgf | 1kgf |
電動(dòng)顯微鏡
只需按下前面板的開關(guān)就可以調(diào)整顯微鏡到舒適的高度。馬達(dá)驅(qū)動(dòng)顯微鏡保持在它的焦點(diǎn)的弧線路徑流暢的移動(dòng)。
沒有用來調(diào)整的旋鈕,沒有用于查閱的數(shù)字表格。
大面積的伺服X/Y
X軸的運(yùn)動(dòng)超過300mm,Y軸的運(yùn)動(dòng)超過150mm,這使得Royce 650很容易的適應(yīng)300mm的晶圓、
引線框架和大的電子組件。高速軸允許焊球剪切測試和快速測試片定位。
超小螺距
高精度的光學(xué)和亞微米的X、Y分辨率提供高重復(fù)精度的超小間距的測試。
可選的放大128X的顯微鏡可以進(jìn)行現(xiàn)場監(jiān)測。集成的電腦適合小的無塵室無塵室是昂貴的。
650除去工作臺(tái)還集成了高標(biāo)準(zhǔn)高精確度的Windows PC,易于使用的包裝。
你的IT部門也歡迎系統(tǒng)來自同一個(gè)來源。
豐富的數(shù)據(jù)報(bào)告
報(bào)告可以生成CSV、XLS或者PDF格式。建立在SQL數(shù)據(jù)庫可以用Royce查詢工具進(jìn)行查詢使用。
數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出到網(wǎng)絡(luò)驅(qū)動(dòng)器、打印機(jī)、內(nèi)置的DVD-CD R/W驅(qū)動(dòng)器、向用戶提供的USB驅(qū)動(dòng)器或RS232串口端口。
多層次的訪問
工藝工程師對(duì)機(jī)器的操作和安裝應(yīng)有充分的信息。然而生產(chǎn)操作者應(yīng)該限制訪問。
為了適應(yīng)各種用戶的訪問需要,工藝工程師可對(duì)每種類型的用戶設(shè)置權(quán)限級(jí)別。
可以設(shè)置很多不同的許可,但是2或3個(gè)就已經(jīng)足夠了。訪問權(quán)限在用戶登錄時(shí)自動(dòng)設(shè)置。
多種語言
只需點(diǎn)擊鼠標(biāo),語言就可以轉(zhuǎn)換。支持多種語言,包括繁體中文、簡體中文、日語、韓語、德語、法語和英語。
其它語言也可以輕松的被安裝。
200KGF的管芯剪切力和凸點(diǎn)拉力 可選的Hi-Mag數(shù)字圖像采集卡 高精度的量程模塊